FM600系列超声波流量计，作为针对超纯水及高纯度化学液体微量流量测量的专业解决方案集成了尖端技术与精密设计。其核心组件包括FM600U主机与传感器，专为满足半导体制造等超净环境下的严苛要求而精心打造。

FM600传感器，其所有湿接触部件均采用半导体工业级PFA材质精密模塑而成，彻底摒弃了传统易积聚杂质或液体的O形圈等动态密封结构，实现了结构的极致简化与流体通道的平滑无阻，确保无残留、无污染，完美契合半导体生产流程中对清洁度的极致追求。

FM600主机，则以其卓越的抗气泡干扰能力著称，有效解决了半导体及化学工艺中气泡对流量测量准确性的不利影响。该转换器内置精密调整机制，能够自动补偿液体运动粘度变化，确保测量结果的精准可靠，同时展现出对多种化学介质的广泛兼容性，进一步拓宽了应用范畴。